半导体工艺中rtp是什么
半导体工艺中的RTP（Rapid Thermal Processing）是一种快速热处理方法，具有升温速度非常快和保温时间很短的特点。升温速率能达到10~100摄氏度每秒。RTP通常采用红外卤素灯或电阻棒加热，加热时电流很大，功率很大。在半导体制造中，RTP可以用于离子注入后杂质的快速活化、快速热氧化等，这种方法可以大大节省热处理时间，降低生产成本。
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